

晶圓制程檢測
清洗后硅片表面 5~10μm 硅粉、微顆粒、細微劃痕、水漬殘留篩查;
傳送腔體、真空管道、機臺內壁懸浮塵埃巡檢,提前規避光刻短路、晶圓報廢;
UV 截止模式屏蔽短波紫外,檢測光刻膠、光阻基板不損傷光敏涂層,解決普通紫外燈傷基板痛點。
芯片封裝環節
封裝外殼裂痕、引腳間隙異物、塑封內部粉塵、金線污漬可視化,批量降低封裝不良率;
FPD 液晶 / OLED 面板
玻璃基板、偏光片、背光模組隱形粉塵、膠漬、油污檢測,杜絕屏幕亮點、黑點缺陷。
極片涂布表面粉塵、金屬碎屑、涂布劃痕排查;
電芯封裝、鋁塑膜內壁油污、熒光殘留檢測;
無塵車間潔凈度日常巡檢,快速定位空氣中懸浮微米級顆粒,管控極片短路風險。
藥瓶、注射器、藥用注塑件內壁微塵、脫模劑殘留檢測;
A 級無菌潔凈區墻面、設備、管道清潔驗證;
UV 模式激發潤滑油、有機熒光污染物,識別肉眼不可見微量污染,保障藥品無菌標準。
鏡頭、鏡片鍍膜前表面微塵、劃痕、指紋油污預檢;
PCB 線路板焊點間隙助焊劑殘留、微小金屬碎屑;
航天復合材料表面微裂紋、夾層雜質篩查;
光學鏡頭、棱鏡、導光組件潔凈度驗收。
車間空氣懸浮塵埃動態檢測(廷德爾效應可視化 10μm 懸浮顆粒);
無塵服、手套、周轉盒、治具清潔度抽檢;
設備內部死角、風道、過濾系統漏塵排查;
現場員工培訓,直觀展示污染源,優化車間潔凈管控流程。
35W HID 氙氣光源,3400lm 超高亮度,照度為常規 LED 檢查燈 3 倍;
檢測極限:表面附著5μm 顆粒清晰顯像,空氣懸浮 10μm 微粒可肉眼識別,普通 LED 僅能看清 50μm 以上雜質;
平行光路 + 暗場散射光學設計,光線集中度>90%,光斑邊緣衰減<5%,遠距離檢測無散光干擾,細微顆粒對比度極1強;
光譜覆蓋全波段,搭配三款濾鏡實現一機三用:
| 濾鏡類型 | 適用場景 | 核心作用 |
|---|---|---|
| 標準綠光濾鏡(標配) | 通用塵埃、劃痕檢測 | 555nm 人眼最敏感波段,長時間檢測不易視覺疲勞 |
| 365nm 紫外濾鏡(選配) | 油污、熒光粉塵、膠痕、有機殘留 | 激發隱性污染物熒光顯色,定位隱形污染 |
| UV 截止濾鏡(選配) | 光刻膠、液晶、光敏膜材 | 屏蔽<400nm 紫外,檢測不損傷光敏物料 |
整機防靜電處理,表面電阻<10?Ω,杜絕靜電吸附粉塵、擊穿芯片元器件;
機身低析出材質,無塑膠揮發、無掉屑,不會二次污染潔凈車間;
TüV 認證光源,10 萬小時光源壽命,連續 12 小時工作光衰<3%,適配產線 24h 不間斷巡檢。
燈頭僅 200g 輕量化設計,單手手持長時間作業不累;
內置充電電池,無線獨立使用,無需固定電源,無需搭建暗室,線邊、機臺內部、狹小腔體隨時檢測;
可調焦光斑,1 米工作距離光斑直徑 30cm,大范圍巡檢 + 局部精細檢測自由切換,設備夾縫、管道內壁無檢測死角。
金屬加固機身,耐受車間輕微磕碰;強制風冷散熱,長時間高亮工作無過熱;
強光可視化直觀展示缺陷,降低人工漏檢率,批量提升產品良率,減少返工報廢損失;
檢測結果直觀可見,可用于車間品質培訓,全員識別污染源,優化潔凈管控流程。
短板:HID 光源存在輕微運行噪音,燈泡有耗材更換成本,采購單價高于通用 LED 檢查燈;
選型適配:優先選擇 NP-5 場景 —— 半導體晶圓、高1端面板、鋰電極片、無菌制藥、精密光學等5μm 級嚴苛潔凈管控產線;通用外觀瑕疵、大顆粒檢測可選普通 LED 檢查燈。